掩模板

  • 如何有效去除掩模板上的铬沉积?

    去除掩模板上的铬涉及到精细的化学和物理方法,通常用于光刻工艺中的掩模版清洗和维护,下面将详细介绍几种有效的去铬方法,并且提供一些注意事项和相关问题的解答,具体内容如下:1、日常清洗方法使用丙酮和异丙醇:日常清洗中可以使用丙酮和异丙醇对掩膜版进行清洁,这两种溶剂可以有效地去除表面的污垢和残留的光刻胶,操作步骤:先……

    2024年8月25日
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