关于薄膜技术申请专利的费用及流程，可以从多个维度进行详细讨论，具体费用如下：
1、申请费用：
发明：申请费为950元，包括印刷费50元。
实用新型：申请费为500元。
外观设计：报名费为500元。
2、审查费用：发明申请的审查费为2500元。
3、专利年费：
发明：第1~3年每年900元；第4~6年每年1200元；第7~9年每年2000元；第10~12年每年4000元；第13~15年每年6000元；第16~20年每年8000元。
实用新型：年费随保护年限增加而变化，从900元到8000元不等。
薄膜技术申请专利的费用涉及申请费、审查费以及维持专利权所需的年费，费用因专利类型及其维持年限的不同而有所差异，在准备申请专利时，建议详细了解相关费用并预算充足，同时咨询专业人士以确保申请过程顺利。
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